ОРЛИКОВСКИЙ Александр Александрович (1938 – 2016)

Физик, акад. РАН (2006). Дир. (с 2005), науч. рук. (с 2015) Физ.-технол. ин-та РАН. Осн. тр. по физике и технологии элементной базы микро- и наноэлектроники.